一、結(jié)構(gòu)形式
三坐標(biāo)測量機(jī)是由三個正交的直線運動軸構(gòu)成的，這三個坐標(biāo)軸的相互配置位置（即總體結(jié)構(gòu)形式）對測量機(jī)的精度以及對被測工件的適用性影響較大。圖9-3是目前常見的幾種CMM結(jié)構(gòu)形式，下面對其結(jié)構(gòu)特點和應(yīng)用范圍作簡要介紹。
圖9-3a為移動橋式結(jié)構(gòu)，它是目前應(yīng)用最廣泛的一種結(jié)構(gòu)形式，其結(jié)構(gòu)簡單，敞開性好，工件安裝在固定工作臺上，承載能力強(qiáng)。但這種結(jié)構(gòu)的X向驅(qū)動位于橋框一側(cè)，橋框移動時易產(chǎn)生繞Z軸偏擺，而該結(jié)構(gòu)的X向標(biāo)尺也位于橋框一側(cè)，在Y向存在較大的阿貝臂，這種偏擺會引起較大的阿貝誤差，因而該結(jié)構(gòu)主要用于中等精度的中小機(jī)型。
圖9-3b為固定橋式結(jié)構(gòu)，其橋框固定不動，X向標(biāo)尺和驅(qū)動機(jī)構(gòu)可安裝在工作臺下方中部，阿貝臂及工作臺繞Z軸偏擺小，其主要部件的運動穩(wěn)定性好，運動誤差小，適用于高精度測量，但工作臺負(fù)載能力小，結(jié)構(gòu)敞開性不好，主要用于高精度的中小機(jī)型。
圖9-3c為中心門移動式結(jié)構(gòu)，結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜，敞開性一般，兼具移動橋式結(jié)構(gòu)承載能力強(qiáng)和固定橋式結(jié)構(gòu)精度高的優(yōu)點，適用于高精度、中型尺寸以下機(jī)型。
圖9-3d為龍門式結(jié)構(gòu)，它與移動橋式結(jié)構(gòu)的主要區(qū)別是它的移動部分只是橫梁，移動部分質(zhì)量小，整個結(jié)構(gòu)剛性好，三個坐標(biāo)測量范圍較大時也可保證測量精度，適用于大機(jī)型，缺點是立柱限制了工件裝卸，單側(cè)驅(qū)動時仍會帶來較大的阿貝誤差，而雙側(cè)驅(qū)動方式在技術(shù)上較為復(fù)雜，只有Y向跨距很大、對精度要求較高的大型測量機(jī)才采用。
圖9-3e為懸臂式結(jié)構(gòu)，結(jié)構(gòu)簡單，具有很好的敞開性，但當(dāng)滑架在懸臂上作Y向運動時，會使懸臂的變形發(fā)生變化，故測量精度不高，一般用于測量精度要求不太高的小型測量機(jī)。
圖9-3f為單柱移動式結(jié)構(gòu)，也稱為儀器臺式結(jié)構(gòu)，它是在工具顯微鏡的結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的。其優(yōu)點是操作方便、測量精度高，但結(jié)構(gòu)復(fù)雜，測量范圍小，適用于高精度的小型數(shù)控機(jī)型。
圖9-3g為單柱固定式結(jié)構(gòu)，它是在坐標(biāo)鏜的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的。其結(jié)構(gòu)牢靠、敞開性較好，但工件的重量對工作臺運動有影響，同時兩維平動工作臺行程不可能太大，因此僅用于測量精度中等的中小型測量機(jī)。
圖9-3h為橫臂立柱式結(jié)構(gòu)，也稱為水平臂式結(jié)構(gòu)，在汽車工業(yè)中有廣泛應(yīng)用。其結(jié)構(gòu)簡單、敞開性好，尺寸也可以較大，但因橫臂前后伸出時會產(chǎn)生較大變形，故測量精度不高，用于中、大型機(jī)型。
圖9-3i為橫臂工作臺移動式結(jié)構(gòu)，其敞開性較好，橫臂部件質(zhì)量較小，但工作臺承載有限，在兩個方向上運動范圍較小，適用于中等精度的中小機(jī)型。
二、工作臺
早期的三坐標(biāo)測量機(jī)的工作臺一般是由鑄鐵或鑄鋼制成的，但近年來，各生產(chǎn)廠家已廣泛采用花崗巖來制造工作臺，這是因為花崗巖變形小、穩(wěn)定性好、耐磨損、不生銹，且價格
低廉、易于加工。有些測量機(jī)裝有可升降的工作臺，以擴(kuò)大Z軸的測量范圍，還有些測量機(jī)備有旋轉(zhuǎn)工作臺，以擴(kuò)大測量功能。
三、導(dǎo)軌
導(dǎo)軌是測量機(jī)的導(dǎo)向裝置，直接影響測量機(jī)的精度，因而要求其具有較高的直線性精度。在三坐標(biāo)測量機(jī)上使用的導(dǎo)軌有滑動導(dǎo)軌、滾動導(dǎo)軌和氣浮導(dǎo)軌，但常用的為滑動導(dǎo)軌和氣浮導(dǎo)軌，滾動導(dǎo)軌應(yīng)用較少，因為滾動導(dǎo)軌的耐磨性較差，剛度也較滑動導(dǎo)軌低。在早期的三坐標(biāo)測量機(jī)中，許多機(jī)型采用的是滑動導(dǎo)軌。滑動導(dǎo)軌精度高，承載能力強(qiáng)，但摩擦阻力大，易磨損，低速運行時易產(chǎn)生爬行，也不易在高速下運行，有逐步被氣浮導(dǎo)軌取代的趨勢。目前，多數(shù)三坐標(biāo)測量機(jī)已采用空氣靜壓導(dǎo)軌（又稱為氣浮導(dǎo)軌、氣墊導(dǎo)軌），它具有許多優(yōu)點，如制造簡單、精度高、摩擦力極小、工作平穩(wěn)等。
圖9-4給出的是一移動橋式結(jié)構(gòu)CMM氣浮導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)示意圖，其結(jié)構(gòu)中有六個氣墊2（水平面四個，側(cè)面兩個），使得整個橋架浮起。滾輪3受壓縮彈簧4的壓力作用而與導(dǎo)向塊5緊貼，由彈簧力保證氣墊在工作狀態(tài)下與導(dǎo)軌導(dǎo)向面之間的間隙。當(dāng)橋架6移動時，若產(chǎn)生扭動，則使氣墊與導(dǎo)軌面之間的間隙量發(fā)生變化，其壓力也隨之變化，從而造成瞬時的不平衡狀態(tài)，但在彈簧力的作用下會重新達(dá)到平衡，使之穩(wěn)定地保持10μm的間隙量，以保證橋架的運動精度。氣浮導(dǎo)軌的進(jìn)氣壓力一般為3～6個大氣壓，要求有穩(wěn)壓裝置。
氣浮技術(shù)的發(fā)展使三坐標(biāo)測量機(jī)在加工周期和精度方面均有很大的突破。目前不少生產(chǎn)廠在尋找高強(qiáng)度輕型材料作為導(dǎo)軌材料，有些生產(chǎn)廠已選用陶瓷或高膜量型的碳素纖維作為移動橋架和橫梁上運動部件的材料。另外，為了加速熱傳導(dǎo)，減少熱變形，ZEISS公司采用帶涂層的抗時效合金來制造導(dǎo)軌，使其時效變形極小且使其各部分的溫度更加趨于均勻一致，從而使整機(jī)的測量精度得到了提高，而對環(huán)境溫度的要求卻又可以放寬些。
